...缓冲装置和氮气清洗能力的450mm晶圆分选机/设备前端模块(...
丁辉 陈东 乔志斌
摘 要：文章介绍了脱脂清洗线的构成部件，设计以及制造过程中的难点。在实际的生产使用中，性能稳定，操作简单，运行安全，效果良好，值得广泛推广，必将促进行业发展。
关键词：脱脂清洗；放卷机；收卷机；纠偏系统；热风机
1 概述
本机组是将轧机轧制后的带材表面油脂，通过层层高压喷淋加热的金属清洗剂，达到清洗油脂、漂洗清洗剂、烘干带材并收卷的过程。
2 机组技术性能
（1）处理物料材质：钛、锆、镍等带材类；（2）带材厚度：常用范围0.1mm～0.5mm；带材宽度：≤450mm；（3）带材原料卷内径：φ470mm～φ510mm，带材原料卷最大外径：φ800mm；（4）带材成品卷内径：φ250mm～φ270mm/φ300mm（背瓦），带材成品卷最大外径：φ690mm；（5）带材卷最大重量：≤1T；（6）走带速度：3-30m/min；（7）带边有波浪，波浪最高：5～6mm；（8）成品卷边整齐度：±1mm。
3 設备的构成
该设备由以下几个部分构成：（1）开卷机；（2）换向辊；（3）剪板机；（4）点焊机；（5）毛巾刷副；（6）张力台；（7）除油脂喷淋箱；（8）毛巾刷副；（9）漂洗喷淋箱；（10）清洗喷淋箱；（11）烘干箱；（12）S换向辊；（13）剪板小车；（14）纠偏系统；（15）浮动卷取机；（16）集水箱；（17）软换水装置；（18）排风系统。
4 设备各部件结构及工作原理
4.1 开卷机
工作原理：由直流电动机通过主轴带动涨缩卷筒转动的形式完成带材的开卷。
结构：直流电机以便送料和控制开卷张力。涨缩卷筒的形式采用燕尾式斜块手动涨缩，涨缩范围：φ470mm～φ510mm。底座采用厚板方箱的结构形式。
4.2 脱脂系统
带材在清洗箱中通过的区域上下方都布置有喷淋管，喷淋管与进水总管都是活动式把接而成，拆装清理方便、快捷。每组喷淋管距离带材表面一定距离，并且每根管道都布置有数量不等的不锈钢高压喷嘴。各组喷淋管上的喷嘴位置都相互错开，以便带材表面都能被喷洗到。脱脂系统中有6组喷淋管，第4组、第5组和第6组喷淋管后各有1套挤干辊机构，挤干辊上辊、下辊均是由不锈钢套筒外包聚氨酯的形式，通过下辊固定，上辊由气缸驱动上下，压紧力可调。实现了带材表面的滤水、挤干。
4.3 漂洗、清洗及风干系统
带材从脱脂系统出来后首先会进入漂洗系统，其次进入清洗系统，最后进去风干系统。
漂洗系统和2组清洗系统均是由2组喷淋管和1套挤干辊机构组成，每组喷淋管中的上、下喷头距离带材表面都有一定的距离并且2组相邻的喷淋管上喷头的数量也是有所不同的，而风干系统由1组风刀、2组风嘴和1台工业热风机构成。
带材从清洗系统进入风干系统时经过1组风刀对带材表面进行加热、吹干。后2组风嘴将带材温度降低以更好的保证材料不会氧化，以便实现后面的收卷环节。
在此次的设计中我们将漂洗系统、清洗系统和风干系统设计成一个整体，但每个系统之间又是相互独立的。
4.4 收卷机
工作原理：由直流电动机通过主轴带动涨缩卷筒转动，实现带材的收卷。
并且为了保证带材收卷时两边不偏斜，通过油缸控制浮动卷取机实现前后移动纠偏。
结构：直流电机以便收料和控制收卷张力。涨缩卷筒的形式采用燕尾式斜块手动涨缩，涨缩范围：φ290mm～φ310mm。底座采用厚板方箱并安装直线导轨副的浮动式底座结构、通过纠偏系统控制液压缸前进和后退。
4.5 水路及加热系统
此次设计中我们将每个系统的水箱集成为一个整体，可它们之间又是相互独立的结构。每个系统配备有独立的加热系统、高压水泵、粗精过滤器等，实现了脱脂液、漂洗液和清洗液的水质由脏到干净相互独立，达到了带材表面的去油、清洁的技术要求。
5 结束语
该设备已抬入生产使用中，使用安全稳定，操作简单。各项指标也达到设计要求，运行状况良好。值得推广应用。
参考文献
[1]成大先.机械设计手册（第四版）[M].北京：化学工业出版社，2002，1.
